全尺寸晶圆片及极低入射能量磁质谱二次离子质谱仪 IMS Wf/SC Ultra

用于半导体研发和制造工艺上，颛臾极浅表层的深度剖析。特点是以超低入射能量条件对进行样品溅射，同时还保留了CAMECA的磁偏转式质谱分析器的高检测灵敏度。IMS Wf能分析整个300毫米直径晶片并带有一花样识别系统。该仪器可配带一个300mm FOUP或200mm的SMIF pods并可遥控现场操作。由于自动化程度高，可进行快速深层的深度剖析，其优化的分析速度和出色的测量稳定性使得这一SIMS工具的产率无与伦比。其实验室版本-SC Ultra带有手动装样系统，计算机对自动控制所有分析参数（分析方案、仪器调试等）。